氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢　　氣相沉積爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流裝置的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中新穎的技術(shù)裝備，設(shè)計(jì)思路新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，一臺(tái)設(shè)備即可完成多個(gè)工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝，那么下面一起了解下?tīng)t子的使用必備技巧吧!　　氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護(hù)的情況下，利用中頻感應(yīng)加熱原理，使位于盤管內(nèi)的鎢坩堝達(dá)到高溫，通過(guò)熱輻射傳導(dǎo)到工作中，適用于科研、軍工部門對(duì)鎢、鉬及其合金粉末進(jìn)行成型燒結(jié)。安裝爐子的場(chǎng)地應(yīng)符合真空衛(wèi)生要求，周圍空氣清潔干燥，通風(fēng)條件好，工作場(chǎng)所不易揚(yáng)起灰塵等。它的日常使用方法：　　1、檢查控制柜內(nèi)所有零部件及部件是否完好、完好?！　?、控制柜安裝固定在相應(yīng)的基礎(chǔ)上?！　?、查看接線圖，參考電路圖，連接外接主回路和控制回路，可靠接地，保證接線無(wú)誤?！　?、檢查電器活動(dòng)部位活動(dòng)自如，無(wú)卡死現(xiàn)象。　　5、絕緣電阻不應(yīng)小于2萬(wàn)億歐姆?！　?、氣相沉積爐各閥門必須在關(guān)閉位置?！　?、控制電源開(kāi)關(guān)置于斷開(kāi)位置?！　?、手動(dòng)調(diào)壓旋鈕逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)頭?！　?、將報(bào)警按鈕置于打開(kāi)位置。　　10、平面圖完成設(shè)備循環(huán)冷卻水連接時(shí)，建議用戶在氣相沉積爐總進(jìn)出水管處再加一層備用水(可用自來(lái)水)，防止循環(huán)水故障或斷電引起密封圈燃燒。

　　真空燒結(jié)爐的抽真空操作　　真空燒結(jié)爐的要點(diǎn)是在真空環(huán)境中對(duì)物品進(jìn)行加熱，真空度的高低對(duì)于燒結(jié)的果有非常重要的影響。先來(lái)給看看真空燒結(jié)爐怎么抽真空的：　　1、把任何個(gè)出氣嘴與真空用軟管連接起來(lái)；　　2、對(duì)氣氛爐的爐腔進(jìn)行預(yù)抽真空；　　3、通入保護(hù)氣體；　　4、再對(duì)爐腔進(jìn)行預(yù)抽真空；　　5、如此循環(huán)幾次以達(dá)到爐膛內(nèi)氣氛要求。　　如果你的真空燒結(jié)爐無(wú)法抽成真空的話，那很有可能是以下3個(gè)方面出現(xiàn)了問(wèn)題，趕緊檢查下：　　1、擴(kuò)散泵的問(wèn)題　　檢查擴(kuò)散泵是否完整，有沒(méi)有什么破損，如果有的話就需要更換，其次看下油位是否正常，如果是因?yàn)槿庇偷膯?wèn)題導(dǎo)致擴(kuò)散泵運(yùn)行不暢的話，及時(shí)添加即可。　　2真空泵的問(wèn)題　　檢查真空泵里面是不是有破損的地方，如果有部件破損的話及時(shí)進(jìn)行更換，如果是小的問(wèn)題，比如密封問(wèn)題等小問(wèn)題的話就自己修下，然后灌入新的機(jī)油就可以了?！　?連接系統(tǒng)的問(wèn)題；　　檢查鏈接系統(tǒng)是否出現(xiàn)問(wèn)題，是否存在密封不好的情況，如果有及時(shí)進(jìn)行補(bǔ)救。　　般來(lái)說(shuō)造成真空燒結(jié)爐抽真空不利的基本上就是這3種問(wèn)題，只要逐排查相信定能找到問(wèn)題的根源。