真空燒結(jié)爐結(jié)構(gòu)上要滿足哪些要求呢 　　真空燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的專用設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行，燒結(jié)時需要對燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行精確的控制。 　　因此，真空燒結(jié)爐在結(jié)構(gòu)上應(yīng)滿足以下要求： 　　(1)具有完善的潤滑劑燒除裝置(俗稱脫蠟帶)。 　　(2)具有氣密性，即能隔絕爐外空氣并保證爐內(nèi)保護(hù)氣氛暢通。 　　(3)爐內(nèi)的各段溫度可控，燒結(jié)氣氛可調(diào)。 　　(4)具有快速冷卻裝置，可將燒結(jié)零件快速冷卻到出爐溫度而不會氧化。 　　真空燒結(jié)爐使用的注意事項 　　(1)當(dāng)使用氫氣或分解氨時，要先通入氮?dú)?，在確保爐中的空氣完全被排出時，才能通電升溫，以防止打鳴和爆炸。 　　(2)對鉬絲作加熱元件的燒結(jié)爐，在通電前爐體中應(yīng)通入保護(hù)氣體，以防止鉬絲氧化而脆斷。 　　(3)真空燒結(jié)爐爐門及氣體排出口應(yīng)點(diǎn)明火燒除，以防止氧氣進(jìn)入或氫氣排出而發(fā)生爆炸危險和煤氣中毒危險。 　　(4)若電熱元件為鐵鉻鋁電阻絲，在升溫至1100℃時應(yīng)停留一段時間(30min左右)再升溫，以防止電阻絲表面溫度過高而損壞。 　　(5)在升溫前和操作中應(yīng)不時檢查氣流、水流是否符合要求，以及檢查設(shè)備、電和爐溫的控制儀表是否正常。 　　(6)停爐前應(yīng)先斷電，在爐溫降到200℃以下時再停氣和停水。 　　(7)除了因維修要停真空燒結(jié)爐爐外，要避免頻繁停爐。燒結(jié)爐的頻繁開停，會造成加熱元件易于老化，耐火材料易于碎裂，爐內(nèi)氣氛不純，爐溫容易波動等弊端。

　　真空燒結(jié)爐抽真空的一般流程如下：　　1.首先，將待燒結(jié)的樣品放入燒結(jié)爐內(nèi)，并關(guān)閉燒結(jié)爐的門。　　2.打開燒結(jié)爐內(nèi)的真空泵和閥門，將燒結(jié)爐內(nèi)的氣體抽出，直至達(dá)到所需真空度?！　?.在抽真空的過程中，可以通過真空計監(jiān)測真空度的變化，以便及時調(diào)整抽氣速度。　　4.當(dāng)真空度達(dá)到所需值后，關(guān)閉真空泵和閥門，等待一段時間，使燒結(jié)爐內(nèi)的氣體充分?jǐn)U散，以避免在加熱過程中產(chǎn)生氣泡。　　5.在燒結(jié)過程中，需要定期檢查真空度，如發(fā)現(xiàn)真空度下降，應(yīng)及時排除故障?！　?.燒結(jié)完成后，打開燒結(jié)爐的門，取出燒結(jié)好的樣品?！　?.關(guān)閉燒結(jié)爐的門，打開真空泵和閥門，將燒結(jié)爐內(nèi)的氣體抽出，直至達(dá)到所需真空度?！　?.關(guān)閉真空泵和閥門，清理燒結(jié)爐的內(nèi)部和外部，存放好設(shè)備?！　≌婵諢Y(jié)爐在抽真空的過程中，應(yīng)注意控制抽氣速度，防止因抽氣過快引起樣品損壞或設(shè)備故障。同時，應(yīng)注意保持燒結(jié)爐內(nèi)部的干燥和潔凈，避免水分和其他雜質(zhì)進(jìn)入燒結(jié)爐內(nèi)。