真空燒結(jié)爐是可進(jìn)行真空燒結(jié)的的工藝，是半導(dǎo)體專用設(shè)備中一種新穎的工藝裝備，可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理工藝。當(dāng)燒結(jié)爐出現(xiàn)冷卻水異常怎么辦? 　　發(fā)現(xiàn)工業(yè)爐出現(xiàn)異常時，要先確認(rèn)加熱電源是否已經(jīng)停止。如果真空燒結(jié)爐爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時，應(yīng)立即采取一些應(yīng)急措施。如能保證水量，繼續(xù)保持真空;如不能則保持原狀，確認(rèn)設(shè)備冷卻下來。 　　如果冷卻水出現(xiàn)異常時，真空燒結(jié)爐處于停止?fàn)顟B(tài)，則立刻接通緊急用冷卻水。在保持高溫時，冷卻水就會停止，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵極有可能會被損壞。 　　因此，在使用高溫?zé)崽幚頎t、真空速凝爐等此類工業(yè)爐時，一定要注意冷卻水是否異常，要時常檢查設(shè)備，做好平日的維護(hù)，才能延長設(shè)備使用年限。

　　真空燒結(jié)爐如何抽真空呢?今天，洛陽八佳電氣科技股份有限公司的工作人員就來跟大家簡單的說一說。 　　首先，想要使用真空燒結(jié)爐來抽真空先要確認(rèn)左、右注氣閥是不是已經(jīng)關(guān)閉了;其次再啟動真空泵電源;而后緩慢的打開機(jī)械泵銅球閥至全開;第四則需要緩慢的打開左注氣閥連接的銅球閥至全開;而待抽真空到表為-0.1MPa時，先關(guān)閉左注氣閥連接的銅球閥，再關(guān)閉機(jī)械泵銅球閥，*關(guān)閉真空泵電源。 　　需要注意的是在真空燒結(jié)爐抽真空的過程中，把未擰緊的螺絲按對稱方式擰緊;在加熱過程中如真空度過低，要求再次抽真空。 　　以上便是真空燒結(jié)爐抽真空的方法及注意事項了，如有需求，歡迎咨詢洛陽八佳電氣科技股份有限公司了解、選購!